一氯甲基三乙氧基硅烷与二乙胺是一种常用的有机硅化合物。在工业生产中，其作为一种重要的中间体被广泛应用于硅橡胶、硅油、硅树脂等领域。然而，由于其在生产过程中的杂质问题，直接使用会对产品质量产生一定的影响。因此，对该化合物进行分馏提纯，是一项关键而必要的工艺。

一氯甲基三乙氧基硅烷与二乙胺分馏提纯工艺主要包括以下几个步骤：

首先，将原料一氯甲基三乙氧基硅烷与二乙胺混合，并进行预处理。在预处理过程中，首先要去除混合物中的杂质和水分，以免对后续的分馏提纯产生干扰。为此，可以采用蒸馏或干燥等方法进行处理。处理后的混合物应具备一定的纯度和稳定性。

其次，将预处理后的混合物进行分馏。在分馏过程中，应根据不同组分的沸点差异，将其分离出来。一般来说，一氯甲基三乙氧基硅烷的沸点为162℃，而二乙胺的沸点为89℃，两者之间存在着明显的沸点差异。因此，可以采用常压或减压下的蒸馏方法进行分离。在分馏过程中，要注意控制温度和压力，以保证分离效果和产品质量。

最后，对分馏得到的产物进行检测和评估。检测主要包括检测产物的纯度、杂质含量、结构等方面的指标。如果不符合要求，需要进行进一步的处理和提纯，直到达到所需的纯度和质量标准。

总之，一氯甲基三乙氧基硅烷与二乙胺分馏提纯工艺是一项重要而复杂的工艺。只有通过科学的工艺流程和严格的质量控制，才能保证最终的产物具备良好的质量和稳定性，满足生产需求。