低温甲醇洗工艺是一种高效、环保的清洗工艺，其关键设备包括以下几个方面。

1. 低温甲醇洗设备：低温甲醇洗设备是低温甲醇洗工艺的核心设备，主要由洗涤室、低温保温室、冷凝器、冷却器等组成。其作用是将低温甲醇喷淋到被清洗表面，通过低温甲醇的物理特性去除污物。

2. 液氮制冷系统：液氮制冷系统是低温甲醇洗工艺的重要组成部分，主要由液氮气瓶、液氮贮罐、液氮泵等组成。其作用是提供低温环境，确保低温甲醇洗设备的正常运行。

3. 污染物处理系统：低温甲醇洗工艺清洗后产生的污染物需要进行处理，污染物处理系统主要由污染物收集器、沉淀池、过滤器、蒸发器等组成。其作用是将污染物进行分离、处理、回收，达到环保的效果。

4. 自动控制系统：低温甲醇洗工艺需要进行严密的控制，自动控制系统主要由PLC控制器、触摸屏、传感器等组成。其作用是实现低温甲醇洗工艺的自动化控制，确保整个工艺的稳定性和安全性。

综上所述，低温甲醇洗工艺的关键设备包括低温甲醇洗设备、液氮制冷系统、污染物处理系统和自动控制系统。这些设备的协同作用使得低温甲醇洗工艺具有高效、环保、安全的特点。